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一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法专利

时间:2026-08-02    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 : 。本发明公开了一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法,其步骤是首先制备FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒;自组装含有的FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒的非磁性衬底,采用原子层沉积技术在包含单层FePt/CoPt纳米颗粒点阵的衬底表面生长10~30纳米的无机非磁性基体薄膜保护层;将沉积后的衬底放于管式扩散炉,在90~97%Ar和10~3%H2的还原性气氛中,于600~750℃高温条件下,退火30~90分钟,获得FePt/CoPt铁磁纳米颗粒与氧化物的复合薄膜。本发明可以获得了具有L10相和较好磁性能的有序FePt/CoPt纳米颗粒复合薄膜,其磁矫顽场达到Hc=5.9kOe。 【专利类型】发明授权 【申请人】南京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210093 江苏省南京市汉口路22号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201010137810.3 【申请日】2010-04-02 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101787522B 【公开公告日】2011-11-09 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101787522B 【授权公告日】2011-11-09 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C16/30; C23C16/56 【发明人】李爱东; 孔继周; 龚佑品; 张俊龙; 吴迪 【主权项内容】一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)首先制备FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒;2)自组装含有的FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒的非磁性衬底,在非磁性衬底上形成六角密堆积的单层FePt/CoPt纳米颗粒的有序点阵;3)将上述衬底放入原子层沉积反应室中,采用原子层沉积技术在包含单层FePt/CoPt纳米颗粒膜的衬底表面生长一层10~30纳米的无机非磁性基体薄膜保护层;4)将沉积有超顺磁相FePt/CoPt纳米颗粒与无机非磁性基体薄膜保护层的衬底放于管式扩散炉中,在90~97%Ar和10~3%H2的还原性气氛中,于600~750℃高温条件下,退火30~90分钟,获得铁磁相FePt/CoPt磁性纳米颗粒复合薄膜。 【当前权利人】南京大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市汉口路22号 【统一社会信用代码】12100000466007458M 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】8

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