【摘要】矩形硅薄膜微机电压力传感器是一种采用矩形的P型半导体硅薄层的微机电压力传感器结构,传感器的最下层是用于密闭空腔的玻璃基片,玻璃基片之上是N型硅衬底,靠近玻璃基片的N型硅衬底背面具有矩形空腔,在矩形空腔上是硅薄膜,矩形的P型掺杂薄层覆
【摘要】 本发明公开了一种多功能压力检测与测量开关,其中磁性开关滑架设置在缸体表面并沿缸体轴向布置,磁性开关安装在磁性开关滑架上,在磁性开关滑架上设有用来固定磁性开关位置的磁性开关固定螺钉;在缸体的后端盖处设有内设有正压力检测输入口,前端盖处设有真空压力检测口,在缸体内设有弹簧,在弹簧的一端连接有活塞;磁环设置在活塞上;压力指示刻度表设置在磁性开关滑架一侧并与磁性开关的移动位置相适配;带有刻度的限位螺钉设置在缸体的端部且与弹簧的另一端连接;在限位螺钉与缸体之间设有密封装置。本发明具有真空压力测量、正压力测量、压差测量;真空压力开关、正压力开关、压差开关等功能,能满足各种要求。。 【专利类型】发明授权 【申请人】南京工业职业技术学院 【申请人类型】学校 【申请人地址】210016 江苏省南京市中山东路532-2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010193311.6 【申请日】2010-06-03 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101881680B 【公开公告日】2011-12-07 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101881680B 【授权公告日】2011-12-07 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01L19/10; G01L19/12; H01H35/38; H01H36/00 【发明人】甄久军 【主权项内容】一种多功能压力检测与测量开关,其特征在于:该开关包括压力指示刻度表(1)、磁性开关滑架(2)、缸体(12)、弹簧(7)、限位螺钉(8)、磁性开关(10)和磁环(14),所述磁性开关滑架(2)设置在缸体(12)表面并沿缸体(12)轴向布置,磁性开关(10)安装在磁性开关滑架(2)上,在磁性开关滑架(2)上设有用来固定磁性开关(10)位置的磁性开关固定螺钉(4);在缸体(12)的后端盖(15)处设有正压力检测输入口(5),前端盖(9)处设有真空压力检测口(6),在缸体(12)内设有弹簧(7),在弹簧(7)的一端连接有活塞(13);与磁性开关(10)相适配的磁环(14)设置在活塞(13)上;压力指示刻度表(1)设置在磁性开关滑架(2)一侧并与磁性开关(10)的移动位置相适配;限位螺钉(8)设置在缸体(12)的端部且与弹簧(7)的另一端连接;在限位螺钉(8)上设有与压力指示刻度表(1)相对应的刻度;在限位螺钉(8)与缸体(12)之间设有密封装置(3)。 【当前权利人】南京工业职业技术学院 【当前专利权人地址】江苏省南京市中山东路532-2号 【统一社会信用代码】12320000426090824D 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】9
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