【摘要】 。本实用新型涉及一种工件用平面度测量装置,包括有底座,其特点是:本实用新型所采用的底座上设置有基准平板,该基准平板上分布有预留孔。同时,在预留孔内分布有位移传感器。并且,该位移传感器的尾端连接有处理组件。由此,通过基准平板与位移传
【摘要】 本实用新型涉及一种用于喷涂光阻的机台,包括隔膜泵和底座,所述隔膜泵的马达端以铰接的方式安装在所述底座上,所述隔膜泵的另一端能自由抬起。本实用新型由于改进了隔膜泵与底座的连接方式,从而使隔膜泵的一端可以自有抬起,达到排出空气的目的,从而保证喷涂光阻的量达到均匀值,避免产品出现缺陷。 【专利类型】实用新型 【申请人】和舰科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020649310.3 【申请日】2010-12-09 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201880670U 【公开公告日】2011-06-29 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201880670U 【授权公告日】2011-06-29 【授权公告年份】2011.0 【发明人】胡九强; 陈有证; 陈耀; 王波 【主权项内容】一种用于喷涂光阻的机台,包括隔膜泵和底座,其特征在于:所述隔膜泵的马达端以铰接的方式安装在所述底座上,所述隔膜泵的另一端能自由抬起。 【当前权利人】和舰芯片制造(苏州)股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】91320594732513557J
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