【摘要】本实用新型公开了一种自动添加洗衣粉装置，涉及洗衣机部件，含有洗衣粉存储桶，其特征在于存储桶中心轴的垂直方向放置有搅拌棒，搅拌棒的一端伸出存储桶与电机相连接，另一端与内嵌于存储桶内壁上的粉末冶金轴承相连。本实用新型具有结构简单、安全有
【摘要】 本发明公开一种晶圆代工机台超纯水回收方法及系统，对晶圆代工机台外输废水采用传感器检测其水质，经控制系统判断后控制阀门使相应管路导通，使符合超纯水回收标准的进入超纯水回收系统；否则进入废水处理系统。由控制系统根据传感器测得的数据控制阀门，使晶圆代工机台外输废水进入相应的管路，从而实现了符合回收标准的超纯水得以进入超纯水回收系统，处理后重新使用，能够使晶圆代工机台废水合理分流，降低了废水处理系统处理负荷和运行成本，同步提高制程纯水回收率，节约了用水。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010593415.6 【申请日】2010-12-17 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102184841A 【公开公告日】2011-09-14 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L21/02 【发明人】吴海岑 【主权项内容】一种晶圆代工机台超纯水回收方法，其特征在于：对晶圆代工机台外输废水采用传感器检测其水质，经控制系统判断后控制阀门使相应管路导通，使符合超纯水回收标准的进入超纯水回收系统；否则进入废水处理系统。 【当前权利人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号; 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B 【引证次数】5.0 【被引证次数】2 【他引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】2
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