【摘要】本发明涉及一种用于厚金属的光刻工艺，其包括如下步骤：a、在衬底上多次均匀淀积金属材料，使在衬底上形成金属层的厚度为3.9μm～4.1μm；b、在上述金属层上涂布光刻胶，并在所述光刻胶上刻蚀出多个标记窗口，露出标记窗口底部的金属层；c
【摘要】 本实用新型属于集成电路中电源电路技术领域，具体为一种用于高速高精度模数转换器的可编程参考基准源电路。该电路由带隙基准电流产生电路和可编程输出缓冲电路依次连接组成。这种结构能产生所需的带温度补偿的，具有强驱动能力的参考基准电压信号。同时，参考电压对地线和电源线上的干扰有很强的抑制能力。本实用新型的电路结构简单，功耗低，输出电压稳定，能够满足高速高精度ADC对于参考基准电压的要求。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国电子科技集团公司第五十八研究所 【申请人类型】企业 【申请人地址】214035 江苏省无锡市滨湖区惠河路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020560426.X 【申请日】2010-10-09 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201984371U 【公开公告日】2011-09-21 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201984371U 【授权公告日】2011-09-21 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G05F3/30 【发明人】陈珍海; 季惠才; 黄嵩人; 张涛; 于宗光 【主权项内容】一种可编程参考基准源电路，其特征是包括：带隙基准电压产生电路和可编程输出缓冲电路；带隙基准电压产生电路的带隙基准电压输出端连接可编程输出缓冲电路的输入端，可编程输出缓冲电路拥有三个可编程基准电压信号输出端。 【当前权利人】中国电子科技集团公司第五十八研究所 【当前专利权人地址】江苏省无锡市滨湖区惠河路5号 【被引证次数】6 【被自引次数】1.0 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】6
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