【摘要】１．产品名称：椅子(３２８)。２．产品用途：用作座椅。３．产品的形状为设计要点。４．产品的立体图最能表明设计要点。【专利类型】外观设计【申请人】江南大学【申请人类型】学校【申请人地址】江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号【申请人地区
【摘要】 本发明公开一种离子植入的在线检测方法，通过利用后继氧化制程所生成的SiO2氧化层厚度同本底杂质的对应关系，借助于一般厚度量测机台，对经过离子植入和氧化制程的测试样片进行薄膜厚度量测，可得出离子植入所达到的植入离子浓度，轻易的实现在线检测，大大的避免了拖至WAT阶段检测出废品所带来的加工过程的浪费，降低了晶片大宗报废的风险。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010593427.9 【申请日】2010-12-17 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102130032A 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L21/66; H01L21/265 【发明人】阳厚国 【主权项内容】一种离子植入的在线检测方法，其特征在于包含以下步骤：(1)在正式芯片的边角位置配置相应的测试样片；(2)在离子植入时，对测试样片同时进行离子植入；(3)利用随后的加热氧化制程在测试样片表面同步生成SiO2氧化层；(4)量测SiO2氧化层的薄膜厚度，根据该剂量和能量的条件下氧化层厚度与本底杂质的对应关系，判断出离子植入所达到的植入离子浓度，从而实现在线检测。 【当前权利人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号; 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B 【引证次数】2.0 【被引证次数】8 【他引次数】2.0 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】8
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