【摘要】粘合剂的过滤装置，包括通过管路顺序连接的粘合剂反应釜、粘合剂冷凝器、过滤器与贮料罐，在所述粘合剂流动管路上设置有流量调节阀；贮料罐顶部的通过管路顺序连接气体冷凝器、气体缓冲罐、气体吸收罐与真空泵，上述各部件与管路组成内部密闭空间。本
【摘要】 本发明公开了一种能够减少设备投入成本、简化生产工艺操作、节约光刻胶用量和显著改善光刻胶涂布质量的光刻胶喷涂装置，包括供液系统、喷嘴、真空吸盘、由编码器控制的旋转马达，尤其是所述喷嘴为矩形长条状，该矩形长条状喷嘴的顶部有两根以上的输液管与供液系统相连，其中至少有一根光刻胶输液管，也至少有一根稀释剂输液管，所述矩形长条状喷嘴的底部设有液体出口。本发明还相应提供了利用本发明所述光刻胶喷涂装置涂布光刻胶的方法。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010212849.7 【申请日】2010-06-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102294317A 【公开公告日】2011-12-28 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】B05C5/00; B05C11/10; B05C13/02; B05C9/08; B05D1/02; B05D1/26; B05D1/36; B05D7/00 【发明人】黄玮 【主权项内容】一种光刻胶喷涂装置，包括供液系统、喷嘴、真空吸盘、由编码器控制的旋转马达，其特征在于，所述喷嘴为矩形长条状，该矩形长条状喷嘴的顶部有两根以上的输液管与供液系统相连，其中至少有一根光刻胶输液管，也至少有一根稀释剂输液管，所述矩形长条状喷嘴的底部设有液体出口。 【当前权利人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号; 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B 【引证次数】6.0 【被引证次数】15 【他引次数】6.0 【被他引次数】15.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】15
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