【摘要】 本发明涉及一种龙门式硅片转移机构。该硅片转移机构包括机架以及安装在机架上的输送台、升降装置和移动吸盘装置，机架上固定有台面板，台面板上安装有龙门架；输送台安装在台面板上，输送台包括左输送装置和右输送装置，左输送装置和右输送装置分别用于运输并定位硅片盒和石英框；升降装置安装在龙门架上，升降装置上设有升降座，移动吸盘装置安装在升降座上，升降装置用于带动移动吸盘装置上下升降；移动吸盘装置上设有片式吸盘，移动吸盘装置可以控制片式吸盘左右横向移动，片式吸盘用于吸取硅片盒内的硅片并将吸取的硅片转移至石英框内。本发明结构简单、巧妙合理、自动化程度高、硅片转移效率高、损坏率低。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡先导自动化设备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区国家新技术产业开发区新加坡工业园行创四路7号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010124248.0 【申请日】2010-02-10 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101789385B 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101789385B 【授权公告日】2011-07-20 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L31/18 【发明人】王燕清 【主权项内容】一种龙门式硅片转移机构，其特征在于包括机架(1)以及安装在机架(1)上的输送台、升降装置和移动吸盘装置，机架(1)上固定有台面板(2)，台面板(2)上安装有龙门架(26)；输送台安装在台面板(2)上，输送台包括左输送装置和右输送装置，左输送装置和右输送装置分别用于运输并定位硅片盒(16)和石英框(27)；升降装置安装在龙门架(26)上，升降装置上设有升降座(22)，移动吸盘装置安装在升降座(22)上，升降装置用于带动移动吸盘装置上下升降；移动吸盘装置上设有片式吸盘(18)，移动吸盘装置可以控制片式吸盘(18)左右横向移动，片式吸盘(18)用于吸取硅片盒(16)内的硅片(17)并将吸取的硅片(17)转移至石英框(27)内；所述输送台中的左输送装置和右输送装置结构相同，分别包括有输送伺服电机(3)、电机固定板(4)、主动带轮(5)、同步带(7)、从动带轮(8)、传动轴(10)、第一轴承(11)、支撑板(12)、托板(13)、挡板(14)、传感器(15)和输送带(30)；电机固定板(4)固定在台面板(2)的两侧，输送伺服电机(3)固定安装在电机固定板(4)上，主动带轮(5)通过第一平键(6)连接在输送伺服电机(3)的输出轴上；在台面板(2)上表面的左部、中间和右部分别固定有三块相互平行的支撑板(12)，支撑板(12)的前后两端分别通过第一轴承(11)安装有前后两根相互平行的传动轴(10)，从动带轮(8)通过第二平键(9)连接在传动轴(10)的一端；主动带轮(5)和从动带轮(8)利用同步带(7)连接并同步传动；在前后两根传动轴(10)上套装有输送带(30)，传动轴(10)转动时带动输送带(30)运动；在左部、中间和右部的三块支撑板(12)上分别固定有托板(13)，在托板(13)上固定有挡板(14)，挡板(14)用于导正输送带(30)输送硅片盒(16)、石英框(27)的方向；在挡板(14)上安装有传感器(15)，传感器(15)用于感应硅片盒(16)、石英框(27)的位置。。 （，） 【当前权利人】无锡先导智能装备股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区新锡路20号 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】14

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