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沉积蒸发源专利

时间:2026-06-21    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种沉积蒸发源,其包括加热装置,加热板和蒸发材料,其中该加热板上设置有多个凹槽,且配置该加热板上的多个凹槽使得位于该加热板中心部分的凹槽的体积之和小于位于该加热板边缘部分的凹槽的体积之和,其中该蒸发材料被放置于该凹槽内。根据本发明的沉积蒸发源能够有效地解决由衬底表面的温度不一致而导致沉积薄膜的沉积厚度不一致的问题。根据本发明的沉积蒸发源能够实现了衬底表面上沉积薄膜的均匀一致,从而获得高品质的沉积薄膜。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 四川尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010149799.2 【申请日】2010-04-12 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102212784A 【公开公告日】2011-10-12 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】C23C14/24 【发明人】雷智; 邹志杰 【主权项内容】一种沉积蒸发源,包括:加热装置;加热板,放置于所述加热装置上方;和蒸发材料,放置于所述加热板上,其特征在于,所述加热板上设置有多个凹槽,且配置所述加热板上的多个凹槽使得位于所述加热板中心部分的凹槽的体积之和小于位于所述加热板边缘部分的凹槽的体积之和,其中所述蒸发材料被放置于所述凹槽内。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 四川尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区长江南路17-6; 四川省成都经济技术开发区星光中路18号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资); 有限责任公司 【统一社会信用代码】9132021372655423XN; 91510112689001416Q 【引证次数】7.0 【被引证次数】5 【他引次数】7.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】5

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