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一种高灵敏度的电容传感器及其制造方法专利

时间:2026-06-21    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种高灵敏度的电容传感器及其制造方法。其中高灵敏度的电容传感器包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指,其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本发明涉及的高灵敏度的电容传感器及其制造方法,通过大大增加电容极板的等效变化面积,从而大大提高器件测量的灵敏度。 【专利类型】发明申请 【申请人】美新半导体(无锡)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010192534.0 【申请日】2010-06-04 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102269598A 【公开公告日】2011-12-07 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102269598B 【授权公告日】2014-04-02 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01D5/24 【发明人】周汉秦; 蒋乐跃 【主权项内容】一种高灵敏度的电容传感器,其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指,其特征在于:所述固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。 【当前权利人】美新半导体(无锡)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91320214718538301Q 【引证次数】6.0 【被引证次数】4 【自引次数】1.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】4

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