【摘要】本发明实施例公开了一种硅片的返工处理方法,包括以下步骤:1、清除掉硅片上的SiNx薄膜;2、采用平板式PECVD装置对硅片重新进行SiNx薄膜沉淀;3、对SiNx薄膜沉淀完成后的硅片进行丝网印刷和烧结,然后进行电性能测试。本发明实施
【摘要】 微动测量装置,包括主丝杆(10)、螺母组件(7)、钢珠(4)、圆柱销(1)、安全螺母(3)、微动开关(2),其特征是圆柱销(1)将安全螺母(3)及螺母组件(7)联接在一起,安全螺母上留有缺口,微动开关的微动手柄(11)伸入所述安全螺母的缺口中,安全螺母上部有钢珠。优点,这样的结构可以使多功能小车的丝杆与组合螺母出现故障时,不需要将整个小车拆开,并更换主要的零部件,而且主丝杆及辅丝杆的加工都比较复杂,成本高。使用这样的微动测量装置在出现故障时,只需要从上部打开,更换圆柱销即可。。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏速升自动化装备系统工程有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214112 江苏省无锡市新区梅村街道新华路121号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010577796.9 【申请日】2010-11-23 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102173362A 【公开公告日】2011-09-07 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】B66C13/16; B66C13/50 【发明人】郑卫星 【主权项内容】微动测量方法,其特征是使用微动开关的微动手柄检测安全螺母位置,连接安全螺母的圆柱销被剪断时,安全螺母位置改变触发微动开关,从而达到微动检测目的。。 【当前权利人】江苏速升自动化装备股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区梅村镇锡达路226号 【引证次数】7.0 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】7.0
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