【摘要】 本实用新型提供一种用于化学气相淀积工艺的真空除尘系统, 包括位于化学气相淀积车间内的供操作者手持的吸尘口，该吸尘口能够经由管道阀门的接口连接于吸尘主管，该吸尘主管连接于吸尘室，该吸尘室内设置有配置为成不同方位的至少两个挡尘板以及滤网，所述吸尘室经由进风管连接于高压鼓风机的吸气口，该高压鼓风机用作吸、吐含尘气流动力源，其出风口通过出风管连接于容纳有粉尘沉淀液的粉尘沉淀池，该粉尘沉淀池位于所述化学气相淀积车间的外部。该真空除尘系统不仅能够有效地除尘，而且能够有效地避免在清扫CVD设备时室内空气扬尘，不会影响相邻CVD设备的正常工作，从而提高CVD工艺的生产效率。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州晶新微电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225009 江苏省扬州市经济开发区鸿大路29号 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】广陵区 【申请号】CN201020621745.7 【申请日】2010-11-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201906534U 【公开公告日】2011-07-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201906534U 【授权公告日】2011-07-27 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B01D47/02; B01D45/08; B01D46/16; B08B5/04 【发明人】王晓峰 【主权项内容】用于化学气相淀积工艺的真空除尘系统，其特征是，包括位于化学气相淀积车间内的供操作者手持的吸尘口(1)，该吸尘口(1)能够经由管道阀门的接口连接于吸尘主管(6)，该吸尘主管(6)连接于吸尘室(7)，该吸尘室(7)内设置有配置为成不同方位的至少两个挡尘板(3)以及滤网(2)，所述吸尘室(7)经由进风管(9)连接于高压鼓风机(10)的吸气口，该高压鼓风机(10)的出风口通过出风管(4)连接于容纳有粉尘沉淀液的粉尘沉淀池(11)，该粉尘沉淀池(11)位于所述化学气相淀积车间的外部。 【当前权利人】扬州晶新微电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市经济开发区鸿大路29号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】913210917115473363 【被引证次数】12 【被他引次数】12.0 【家族被引证次数】12

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1781332170.html