【摘要】 新型真空镀膜设备，属于真空镀膜设备技术领域。包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，所述的圆环型堆放架内壁上设有轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。结构合理简单，生产制造容易，成本低。将钨丝蒸发源和蒸发坩埚放入真空设备进行蒸发镀膜，钨丝蒸发源可以蒸发铝丝、铜丝、合金丝，蒸发坩埚可以蒸发氟化镁形成氟化镁镀膜层，对钨丝蒸发源蒸发的金属镀膜层进行保护。镀膜效果好，满足中高档产品的镀膜要求。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】225009 江苏省扬州市大学南路88号 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】广陵区 【申请号】CN201020252721.9 【申请日】2010-07-02 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201746584U 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201746584U 【授权公告日】2011-02-16 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C14/26 【发明人】秦康生; 陈荣发; 吴宝伟; 陆素梅 【主权项内容】一种新型真空镀膜设备，包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，其特征是所述的真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，所述的圆环型堆放架内壁上设有轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。。该数据由<>整理 【当前权利人】扬州大学 【当前专利权人地址】江苏省扬州市大学南路88号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12320000466007837W 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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