【摘要】 本实用新型涉及一种新型的硅板舟。能避免插棒相对于舟体歪斜，从而改善氮化硅插棒歪斜所导致的硅片扩散不均匀现象的硅板舟。包括设插孔的平板型舟体和插棒，所述插孔为锥孔，所述插棒底部呈锥形，所述插棒底部锥形最小部位的直径比所述锥孔最小部位的直径大1.1-1.5倍。本实用新型把硅板舟插孔设计成锥形，氮化硅插棒底部也设计为锥形。这样两者间形成锥面连接关系，可以确保两者间的同轴度，进而保证插棒与舟体之间的垂直度。此外，为能在磨损中继续利用，而插棒底端不伸出舟体底面，本实用新型的插棒最小直径大于锥孔的最小直径。本实用新型起到防止硅片歪斜的作用，起到改善扩散的效果。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州杰利半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请号】CN201020536540.9 【申请日】2010-09-19 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201796873U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201796873U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【发明人】游佩武; 裘立强 【主权项内容】硅板舟，包括设插孔的平板型舟体和插棒，其特征在于，所述插孔为锥孔，所述插棒底部呈锥形，所述插棒底部锥形最小部位的直径比所述锥孔最小部位的直径大1.1‑1.5倍。 【当前权利人】扬州杰利半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91321003689176902H 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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