【摘要】 本实用新型公开了一种刻蚀机射频功率的控制系统，包括控制单元、开关控制器、射频电源、预热设定器、功率输出单元和高频激励装置，所述控制单元、射频电源、功率输出单元和高频激励装置依次连接在一起，所述开关控制器设置在控制单元和射频电源之间，所述预热设定器设置在射频电源和功率输出单元之间，所述控制系统还包括用于反馈射频功率输出值的反馈装置，所述功率输出单元、反馈装置和控制单元依次连接在一起，形成闭环控制环节。本实用新型可检测射频功率的大小，并在射频功率异常时反馈异常信号。 【专利类型】实用新型 【申请人】晶澳(扬州)太阳能科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225131 江苏省扬州市扬州经济开发区建华路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请号】CN201020678748.4 【申请日】2010-12-24 【申请年份】2010 【公开公告号】CN202008614U 【公开公告日】2011-10-12 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN202008614U 【授权公告日】2011-10-12 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G05F1/66; H01L31/18; H01J37/32 【发明人】张兴云; 郝立辉 【主权项内容】一种刻蚀机射频功率的控制系统，包括控制单元、开关控制器、射频电源、预热设定器、功率输出单元和高频激励装置，所述控制单元、射频电源、功率输出单元和高频激励装置依次连接在一起，所述开关控制器设置在控制单元和射频电源之间，所述预热设定器设置在射频电源和功率输出单元之间，其特征在于：所述控制系统还包括用于反馈射频功率输出值的反馈装置，所述功率输出单元、反馈装置和控制单元依次连接在一起，形成闭环控制环节。 【当前权利人】晶澳(扬州)太阳能科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市扬州经济开发区建华路1号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91321091792314947X 【被引证次数】9 【被他引次数】9.0 【家族被引证次数】9

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