【摘要】 一种半导体生产线的废热利用装置及其工作方法。本发明尤其涉及一种半导体芯片制造厂净化车间热源回收利用的装置和该装置的工作方法。它包括产生废热的设备和净化车间，包括排风口、进风口、管路、阀门一～三、温度感应器和控制器，所述管路将所述产生废热的设备、净化车间、排风口和进风口相连，所述阀门一设在排风口处，所述阀门三设在进风口处，所述阀门二设在产生废热的设备和净化车间之间的管路上；所述温度感应器包括感应器一、感应器二和感应器三，感应器一设在所述产生废热的设备的废热出口处，感应器二设在所述净化车间处，感应器三设在进风口外部；阀门一～三和感应器一～三分别连接控制器。本发明将生产车间能源的循环利用，提高资源利用率，降低生产制造成本，适应低碳环保的生产要求。 【专利类型】发明申请 【申请人】扬州杰利半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请号】CN201010168476.8 【申请日】2010-05-11 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102243985A 【公开公告日】2011-11-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102243985B 【授权公告日】2013-04-24 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】H01L21/00 【发明人】汪良恩 【主权项内容】一种半导体生产线的废热利用装置，所述生产线包括产生废热的设备和净化车间，其特征在于，它包括排风口、进风口、管路、阀门一～三、温度感应器和控制器，所述管路将所述产生废热的设备、净化车间、排风口和进风口相连，所述阀门一设在排风口处，所述阀门三设在进风口处，所述阀门二设在产生废热的设备和净化车间之间的管路上；所述温度感应器包括感应器一、感应器二和感应器三，感应器一设在所述产生废热的设备的废热出口处，感应器二设在所述净化车间处，感应器三设在进风口外部；阀门一～三和感应器一～三分别连接控制器。。 【当前权利人】扬州杰利半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91321003689176902H 【引证次数】3.0 【自引次数】1.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】3.0

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