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硅片移动托架的升降机构专利

时间:2026-06-07    作者:admin 点击: ( 7 ) 次

【摘要】 一种无网带高效烧结炉中的硅片移动托架的升降机构,包括水平推杆、摆杆、转轴、偏心轮、滚轮、轴承座、耳座、活动台和固定底板,转轴通过轴承座安装在固定底板上,偏心轮固定安装在转轴上,摆杆的上端固定安装在转轴上,转轴可转动地安装在固定底板上,摆杆的下端与水平推杆铰接,滚轮可转动地安装活动板的下端面上,滚轮通过耳座固定在活动板上,滚轮与偏心轮相接触。当水平推杆左右平移时,摆杆带动转轴左右摆转,由于偏心轮固定安装在转轴上,偏心轮也会之摆转,从而带动活动板往复升降运动,满足了移动托架相对于固定托架的升降动作要求。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201020581489.3 【申请日】2010-10-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201858874U 【公开公告日】2011-06-08 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201858874U 【授权公告日】2011-06-08 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】F27B9/30; F27D3/12 【发明人】孙铁囤; 荀建华; 刘志刚; 高玉山; 潘盛; 姚伟忠; 陈琼 【主权项内容】一种硅片移动托架的升降机构,其特征是:包括水平推杆(61)、摆杆(62)、转轴(63)、轴承座(64)、偏心轮(65)、滚轮(66)、耳座(67)、活动板(15、35)和固定底板(11、31),转轴(63)通过轴承座(64)安装在固定底板(11、31)上,偏心轮(65)固定安装在转轴(63)上,摆杆(62)的上端固定安装在转轴(63)上,转轴(63)可转动地安装在固定底板(11、31)上,摆杆(62)的下端与水平推杆(61)铰接,滚轮(66)通过耳座(67)固定在活动板(15、35)的下端面上,滚轮(66)与偏心轮(65)相接触。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【被引证次数】2 【被自引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】2

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