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用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及太阳能电池表面制绒技术领域,特别是一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片,包括硅基材,在硅基材的表面具有一层光刻胶,在光刻胶上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口。通过对该硅片进行反应离子刻蚀可以获得更加规则的绒面结构,制作出低反射率的太阳能电池,提高发电效率。。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020548403.7 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201796900U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201796900U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【发明人】陈亮 【主权项内容】一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片,包括硅基材(1),其特征是:在所述的硅基材(1)的表面具有一层光刻胶(2),在光刻胶(2)上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口(3)。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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