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硅片的后清洗工艺专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及太阳能电池生产方法技术领域,尤其是一种硅片的后清洗工艺,其具有如下步骤:a.将多晶硅片硅片制绒、扩散,得到25~80ohm/Sq的均匀扩散区;b.再用酸溶液进行腐蚀,酸溶液中:HF体积浓度占1.6%~4.5%,HNO3体积浓度占20%~30%,CH3COOH体积浓度占33%~39%,其余为H2O,将腐蚀时间控制在20~180秒,温度为15~25℃。本发明硅片的后清洗工艺,通过优化溶液配比,可精确控制溶液的反应速率,而且硅片表面的反射率没有提高,从而提高了太阳能电池的效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010238237.5 【申请日】2010-07-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101976700A 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101976700B 【授权公告日】2011-12-07 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; C23F1/24 【发明人】张学玲 【主权项内容】一种硅片的后清洗工艺,其特征是:具有如下步骤:a.将多晶硅片硅片制绒、扩散,得到25~80ohm/Sq的均匀扩散区;b.再用酸溶液进行腐蚀,酸溶液中:HF体积浓度占1.6%~4.5%,HNO3体积浓度占20%~30%,CH3COOH体积浓度占33%~39%,其余为H2O,将腐蚀时间控制在20~180秒,温度为15~25℃。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【引证次数】4.0 【被引证次数】7 【他引次数】4.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】7

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