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晶体硅太阳能电池片控制二氧化硅厚度的方法专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及晶体硅太阳能电池领域,尤其是晶体硅太阳能电池片控制二氧化硅厚度的方法,其方法为:先将晶体硅太阳能扩散时的中心温度调整为为840-850℃,时间调整为30-40min,当二氧化硅沉积时,氮气大流量为20-30SLM,氮气小流量为1000-1400SCCM,氧气干燥为300-500SCCM后,二氧化硅的厚度达到正常。本发明的有益效果是,本发明通过调整工艺,扩散后长生的不良比例得到大幅度降低,二氧化硅的厚度达到正常,从而太阳能电池的效率得到提高。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010238314.7 【申请日】2010-07-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101976647A 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101976647B 【授权公告日】2012-05-30 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/223; H01L31/18 【发明人】华永军 【主权项内容】一种晶体硅太阳能电池片控制二氧化硅厚度的方法,其方法为:先将晶体硅太阳能扩散时的中心温度调整为840‑850℃,时间调整为30‑40min,当二氧化硅沉积时,氮气大流量为20‑30SLM,氮气小流量为1000‑1400SCCM,氧气干燥为300‑500SCCM后,二氧化硅的厚度达到正常。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【引证次数】4.0 【被引证次数】1 【他引次数】4.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】1

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