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磷扩散炉管两端进气装置专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及扩散炉技术领域,特别是一种磷扩散炉管两端进气装置。它包括两根在炉管内延伸的进气管,每根进气管的两端均连接到气源,每根进气管两端通入的为同一种反应气体,并可通过阀门调节两端的进气比率,一根进气管通入O2,一根进气管通入POCl3,进气管上有均匀分布的出气孔,出气孔的出气方向平行与硅片表面,两根进气管分别通入不同的反应气体。本发明通过从炉口,炉尾同时通进反应气体,达到调整管内气体分布,改善方阻均匀性的目的。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010296476.6 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102094247A 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102094247B 【授权公告日】2013-03-27 【授权公告年份】2013.0 【发明人】方智 【主权项内容】一种磷扩散炉管两端进气装置,其特征是:包括两根在炉管(1)内延伸的进气管(2),每根进气管(2)的两端均连接到气源,每根进气管(2)两端通入的为同一种反应气体,并通过阀门调节每根进气管的两端的进气比率,进气管(2)上有均匀分布的出气孔(3),出气孔(3)的出气方向平行与硅片(4)表面,两根进气管(2)分别通入不同的反应气体。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】8 【被他引次数】8.0 【家族被引证次数】8

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