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一种晶体硅太阳电池选择性发射结的制作方法专利

时间:2026-06-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种晶体硅太阳电池选择性发射结的制作方法,其制作方法为:将硅片清洗制绒后进行一次重扩散,在一次重扩散的硅片表面镀一层氮化硅薄膜,然后在硅片表面场区部分印刷刻蚀Si的刻蚀性浆料,或者,重扩散后直接在硅片表面场区部分印刷刻蚀Si的刻蚀性浆料,刻蚀时间20min~120min,硅片重扩散的温度为800℃~1000℃,扩散后方阻为10ohm/sq~50ohm/sq。刻蚀Si的刻蚀性浆料含有1%~50%的氟化氢胺。本发明的方法在刻蚀过程中可以去掉场区的一部分损伤层,有利于提高电池的效率,并且形成的轻掺杂区域的方阻均匀性好,表面浓度较低,有利于选择性发射结电池的效率的提高。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010263642.2 【申请日】2010-08-26 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101937941A 【公开公告日】2011-01-05 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101937941B 【授权公告日】2012-07-18 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L31/18; H01L31/042; H01L31/0352; H01L31/068 【发明人】邓伟伟; 金浩; 刘亚峰 【主权项内容】一种晶体硅太阳电池选择性发射结的制作方法,其特征在于:所述的制作方法为:将硅片清洗制绒后进行一次重扩散,在一次重扩散后的硅片表面镀一层氮化硅薄膜,然后在硅片表面场区部分印刷刻蚀Si的刻蚀浆料,刻蚀时间为20min~120min,硅片表面形成重掺杂区和轻掺杂区。 : 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【引证次数】5.0 【被引证次数】5 【自引次数】2.0 【他引次数】3.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】5

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