【摘要】 本实用新型涉及太阳能硅片表面线痕测试仪，包括驱动器，探针组件，工作台、数据处理器和竖直在工作台上的立柱，探针组件安装在驱动器上，驱动器安装在立柱上，探针组件的头端是探针，探针在硅片表面滑动，探针组件将硅片表面的滑动曲线输入数据处理器，驱动器响应于数据处理器的指令来移动探针组件或沿着立柱在竖直方向上下移动，在工作台上设置陶瓷高精密平台，待测试的硅片放置在陶瓷高精密平台上。使用该线痕测试仪可以对制程或供应商的管理提供量化的产品线痕标准，准确，及时的实行线痕SPC控制；在双方对线痕存在异议时，可以作为第三方仲裁。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020223229.9 【申请日】2010-06-10 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201716393U 【公开公告日】2011-01-19 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201716393U 【授权公告日】2011-01-19 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01R31/26; G01R1/067; G01B21/32; G01N33/00 【发明人】陈留华; 谢锦文 【主权项内容】一种太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征是：包括驱动器(1)，探针组件(2)，工作台(3)、数据处理器(4)和竖直在工作台(3)上的立柱(5)，探针组件(2)安装在驱动器(1)上，驱动器(1)安装在立柱(5)上，探针组件(2)的头端是探针(2‑1)，探针(2‑1)在硅片(6)表面滑动，探针组件(2)将硅片(6)表面的滑动曲线输入数据处理器(4)，驱动器(1)响应于数据处理器(4)的指令来移动探针组件(2)或沿着立柱(5)在竖直方向上下移动，在所述的工作台(3)上设置陶瓷高精密平台(7)，硅片(6)放置在陶瓷高精密平台(7)上。 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族被引证次数】7

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