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磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置专利

时间:2026-06-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及扩散炉技术领域,特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。它包括进气管,进气管从炉尾伸入炉内后一分为二,分为上进气管和下进气管,上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部,上进气管和下进气管上开有多个出气孔,出气孔方向平行硅片表面。通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气,提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性,达到较好的整管方阻分布。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020548333.5 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201793816U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201793816U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【发明人】何伟 【主权项内容】一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置,包括进气管,其特征是:所述的进气管从炉尾伸入炉内后一分为二,分为上进气管(1)和下进气管(2),上进气管(1)和下进气管(2)分别位于炉管(3)的上部和下部,上进气管(1)和下进气管(2)上开有多个出气孔,出气孔方向平行硅片表面。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3

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