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太阳能电池表面三层减反钝化膜专利

时间:2026-06-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其是一种太阳能电池表面三层减反钝化膜,该减反膜是在硅片衬底表面上沉积一层第一氮化硅薄膜,在第一氮化硅薄膜表面上再沉积一层第二氮化硅薄膜,再在第二氮化硅薄膜表面上沉积一层二氧化硅薄膜,第一氮化硅薄膜的厚度为10~50纳米,折射率为2.5~3.0。本发明提高了太阳能电池表面的钝化效果,降低了太阳电池表面的反射率,并使之能与组件相匹配,减少组件封装损失,提高电池电性能。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010152139.X 【申请日】2010-04-20 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101958353A 【公开公告日】2011-01-26 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L31/052; H01L31/0216; H01L31/18; H01L31/054 【发明人】陈亮 【主权项内容】一种太阳能电池表面三层减反钝化膜,其特征在于:所述减反膜是在硅片衬底(1)表面上沉积一层第一氮化硅薄膜(2),在第一氮化硅薄膜(2)表面上再沉积一层第二氮化硅薄膜(3),再在第二氮化硅薄膜(3)表面上沉积一层二氧化硅薄膜(4),所述的第一氮化硅薄膜(2)的厚度为10~50纳米,折射率为2.5~3.0。 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【引证次数】4.0 【被引证次数】9 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】9

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