【摘要】 本发明涉及太阳能和半导体等行业的管式扩散生产过程中无法利用的磷源的回收系统，包括气源、排液部分、回收部分和安全装置部分，排液部分和回收部分由生产线上更换下来的源瓶依次连接而成，排液部分与回收部分的源瓶连接方向相反，气源为高纯惰性气体，排液部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的出气管连接气源，最后一个源瓶的进气管与回收部分的第一个源瓶的进气管连接，中间源瓶的出气管与前一个源瓶进气管连通，中间源瓶进气管与后一个源瓶出气管连通，本系统的气源向排液部分通入高纯惰性气体如Ar或N2等后，磷源即会搜集到回收装置部分中，回收装置部分的源瓶可取出做生产使用。本系统将剩余的磷源在确保安全的情况下搜集到源瓶中回收利用，从而大大减少了磷源的浪费。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010294778.X 【申请日】2010-09-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102097290A 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102097290B 【授权公告日】2012-05-16 【授权公告年份】2012.0 【发明人】潘景伟 【主权项内容】一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：包括气源(1)、排液部分(2)、回收部分(3)和安全装置部分(4)，排液部分(2)和回收部分(3)由生产线上更换下来的源瓶(5)依次连接而成，排液部分(2)与回收部分(3)的源瓶(5)连接方向相反，气源(1)为高纯惰性气体，排液部分(2)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的出气管(51)连接气源(1)，最后一个源瓶(5)的进气管(52)与回收部分(3)的第一个源瓶(5)的进气管(52)连接，中间源瓶(5)的出气管(51)与前一个源瓶(5)的进气管(52)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与后一个源瓶(5)的出气管(51)连通；回收部分(3)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的进气管(52)连接排液部分(2)的源瓶(5)，最后一个源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分(4)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与前一个源瓶(5)的出气管(51)连通，中间源瓶(5)的出气管(52)与后一个源瓶(5)的进气管(52)连通。。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5

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