【摘要】 本实用新型涉及一种半导体加工设备，特别涉及一种进给量较为精确的单晶硅线线切割装置。包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。本实用新型有益效果在于提高了单晶硅线切割的质量，减少了原料的浪费，减少了切割过程中硅棒的晃动，也保证了切割的质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】江苏创大光伏科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213127 江苏省常州市新北区玉龙北路502号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020525709.0 【申请日】2010-09-13 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201816149U 【公开公告日】2011-05-04 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201816149U 【授权公告日】2011-05-04 【授权公告年份】2011.0 【发明人】陈荣兴 【主权项内容】单晶硅线切割机构，包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，其特征在于：所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。。 【当前权利人】江苏创大光伏科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区玉龙北路502号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4

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