【摘要】本实用新型公开了一种微结构微细加工中, 蚀刻 深度传感器。该传感器由激光器、敏感元件、带成像透镜的 CCD器件组成, 可对微细加工中蚀刻深度进行实时检测, 测量相 对误差大于1%, 满足微结构加工的要求。其结构简单, 制造容易, 成
【摘要】 本实用新型提供了一种覆膜油封, 它有带有内孔 的油封, 油封内有骨架, 内孔上部的外侧有与其相接触的钢丝簧, 内孔上部的内侧壁上有与其相连接的覆膜层。本实用新型解决 了现有技术存在的耐磨损能力较差、使用寿命较短的问题, 是一 项值得推广的技术。 【专利类型】实用新型 【申请人】许沂蒙 【申请人类型】个人 【申请人地址】276300山东省沂南县城振兴路20号 【申请人地区】中国 【申请人城市】临沂市 【申请人区县】沂南县 【申请号】CN98220101.X 【申请日】1998-01-21 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2327844Y 【公开公告日】1999-07-07 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2327844Y 【授权公告日】1999-07-07 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】F16J15/32; F16J15/3212 【发明人】许沂蒙; 刘金泉 【主权项内容】1、覆膜油封,它有带有内孔(3)的油封(1),油封(1)内有 骨架(2),内孔(3)上部的外侧有与其相接触的钢丝簧(5),其特 征在于:内孔(3)上部的内侧壁上有与其相连接的覆膜层(4)。 【当前权利人】许沂蒙 【当前专利权人地址】山东省沂南县城振兴路20号
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