【摘要】本实用新型公开了一种电表集装箱, 箱体内部后 壁上伸出两个平行相对应的支架, 支架的面板上开有条形孔, 在 两支架之间设置扁形横担, 横担滑动于支架的条形孔之间, 扁形 横担上设置条形孔, 横担与面板上的条形孔有螺丝联接, 该电表
【摘要】 本实用新型公开了一种微结构微细加工中, 蚀刻 深度传感器。该传感器由激光器、敏感元件、带成像透镜的 CCD器件组成, 可对微细加工中蚀刻深度进行实时检测, 测量相 对误差大于1%, 满足微结构加工的要求。其结构简单, 制造容易, 成本低, 使用方便。 【专利类型】实用新型 【申请人】华东冶金学院 【申请人类型】学校 【申请人地址】243000安徽省马鞍山市湖东路 【申请人地区】中国 【申请人城市】马鞍山市 【申请人区县】花山区 【申请号】CN98225893.3 【申请日】1998-01-21 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2322127Y 【公开公告日】1999-06-02 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2322127Y 【授权公告日】1999-06-02 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】G01B11/22 【发明人】赵光兴 【主权项内容】1．一种蚀刻深度传感器，包括激光器、反射镜、固定支架、 敏感元件、光电转换器，其特征在于：反射镜(3)和(5)采 用平面反射镜，并用粘胶分别固定在带孔柱体(11)和(12) 上，带孔柱体(11)和(12)分别通过支杆(14)和 (15)安装在固定支架(9)上；敏感元件(4)采用锲形光 学薄片，并用粘胶固定在带孔平板(10)上，带孔平板(10) 通过支杆(13)安装在固定支架(9)上，固定支架(9)固 定在蚀刻室(17)的底座上。 【当前权利人】华东冶金学院 【当前专利权人地址】安徽省马鞍山市湖东路 【被引证次数】7.0 【被他引次数】7.0 【家族被引证次数】7.0
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