【摘要】本实用新型是光刻机环形光栅离轴照明光学系 统, 属于半微米至深亚微米光刻机离轴照明光学系统技术领 域。其特征是在聚光镜与掩模板之间有一个与掩模面平行的环 形光栅板, 它是由在石英基片上刻有间隔不同、深度相同的同心 圆环构成。环形光栅
【摘要】 一种采用矩阵驱动方式的电动多抽屉柜, 由柜 体、安装在柜体上的抽屉和每个抽屉所配备的驱动装置组成。 驱动装置包括电机与传动机构, 各电机之间采用矩阵连接方式, 即将各电机的两极分别接至x条行线和y条列线上, 且每个电机 串联了稳压值大于或等于1/3额定驱动电压的双向稳压元件构 成电机支路。此种电动多抽屉柜大大降低了连接导线和控制开 关的数量, 并有效地减少了装配工作量。 【专利类型】实用新型 【申请人】成都三齐电子研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】610041四川省成都市武侯区玉林东街15号 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】武侯区 【申请号】CN98228536.1 【申请日】1998-03-27 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2321306Y 【公开公告日】1999-06-02 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2321306Y 【授权公告日】1999-06-02 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】A47B67/00 【发明人】李春彪; 李广林; 田济民; 王富元; 周祥麟; 夏建中 【主权项内容】1.一种采用矩阵驱动方式的电动多抽屉柜,由柜体(1),多个抽屉(2)和每 个抽屉所配备的驱动装置组成,驱动装置包括电机(8)与传动机构,其特征在于: 1)各驱动装置中的电机之间采用矩阵连接方式,即将各电机的两极分别接至x 条行线和y条列线上,分别在每一条行线和列线上设置控制开关, 2)每个电机串联了稳压值大于或等于 额定驱动电压的双向稳压元件构成电 机支路。 【当前权利人】成都三齐电子有限责任公司 【当前专利权人地址】四川省成都市人民南路4段11号附1号 【专利权人类型】集体所有制 【被引证次数】3.0 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3.0
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