【摘要】光刻机相位光栅离轴照明光学系统,属于半微米 至深亚微米光刻机离轴照明光学系统技术领域。其特征是聚光 镜与掩模板之间是一个与掩模面平行的相位光栅板,它的上下 表面分别刻有线宽相同、刻蚀深度相同的方向互相垂直线形光 栅,光栅方向与掩模图
【摘要】 1.右视图与左视图相同, 省略右视图。 2.本外观设计瓶塞为水晶玻璃制成。 3.该瓶子出水口为玻璃活塞。 【专利类型】外观设计 【申请人】徐长久 【申请人类型】个人 【申请人地址】610104四川省成都市新津县五津镇古家村 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】新津区 【申请号】CN98328217.X 【申请日】1998-12-01 【申请年份】1998 【公开公告号】CN3130098D 【公开公告日】1999-12-08 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN3130098D 【授权公告日】1999-12-08 【授权公告年份】1999.0 【发明人】徐长久 【主权项内容】无 【当前权利人】徐长久 【当前专利权人地址】四川省成都市新津县五津镇古家村
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