【摘要】后视图与主视图对称，省略后视图。 仰视图无图案, 省略仰视图。【专利类型】外观设计【申请人】四川阿尔泰实业有限责任公司【申请人类型】企业【申请人地址】610017四川省成都市三槐路7号【申请人地区】中国【申请人城市】成都市【申请号】
【摘要】 本实用新型涉及在激光淀积镀膜设备中用的简 易激光光束扫描器。本实用新型由在底座的一边台面上顺序固 定两个马达, 一个“”形支架, 一个支轴通过转轴连接的支架, 并在支架上固定一可调节角度的反射镜, 其特征在于 : 还包括一 根摆杆, 摆杆一端安装在马达上的竖直偏心轮和水平偏心轮上, 另一端固定在反射镜与支轴中间 : “ ”形支架与摆杆之间立置 一弹簧, 两个马达通过导线联接在调压电源组成。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国科学院物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100080北京市603信箱高存秀转 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98213880.6 【申请日】1998-05-15 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2323466Y 【公开公告日】1999-06-09 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2323466Y 【授权公告日】1999-06-09 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】H01L21/203; H01L21/283; H01L21/02 【发明人】王焕华; 周岳亮; 吕惠宾; 陈正豪; 杨国桢 【主权项内容】1．一种简易激光光束扫描器，包括在底座的一边台面上顺序因两 个马达，一个 形支架，一个支轴通过转轴连接的支架，并在支 架上固定一可调节角度的反射镜，其特征在于：还包括一根摆杆， 摆杆一端安装在马达上的竖直偏心轮和水平偏心轮上，另一端固定 在反射镜与支轴中间； 形支架与摆杆之间立置一弹簧，两个马 达通过导线联接在调压电源组成。 【当前权利人】中国科学院物理研究所 【当前专利权人地址】北京市603信箱高存秀转 【统一社会信用代码】12100000400012174C 【被引证次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2.0
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