【专利类型】外观设计【申请人】长春金赛药业有限责任公司【申请人类型】企业【申请人地址】130012吉林省长春高新技术开发区天河街1号【申请人地区】中国【申请人城市】长春市【申请人区县】朝阳区【申请号】CN98324165.1【申请日】199
【摘要】 本发明公开了一种有源液晶显示器的薄膜晶体 管开关器件制作方法。在氢化非晶硅(a－Si : H)有源层上用光刻 方法制作一绝缘介质层, 绝缘介质层为倒梯形结构和矩形结构, 上边长等于栅电极宽度, 也可以小于栅电极宽度, 高度大于1.5 倍的源、漏电极的厚度。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院长春物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】130021吉林省长春市延安大路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】长春市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN98106749.2 【申请日】1998-03-26 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1230791A 【公开公告日】1999-10-06 【公开公告年份】1999 【IPC分类号】H01L29/786; H01L29/66 【发明人】刘洪武; 杨柏梁; 王刚; 朱永福; 黄锡珉; 马凯 【主权项内容】1．一种薄膜晶体管开关器件的制作方法，在氢化非晶硅(a-Si∶H)有源层上 用光刻方法制作一绝缘介质层，其特征在于绝缘介质层为倒梯形结构，上边长等 于栅电极宽度，也可以小于栅电极宽度，高度大于1.5倍的源、漏电极的厚度。 【当前权利人】中国科学院长春物理研究所 【当前专利权人地址】吉林省长春市延安大路1号 【被引证次数】6.0 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6.0
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