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一种纳米多层结构的VCNi增韧涂层及其制备方法专利

时间:2026-10-08    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层,由VC层和Ni层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Ni增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Ni靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法,对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,降低了涂层的磨损率,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院宁波材料技术与工程研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】镇海区 【申请号】CN201210575085.7 【申请日】2012-12-26 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103895283A 【公开公告日】2014-07-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103895283B 【授权公告日】2016-08-10 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B32B15/04; B32B9/04; C23C14/35; C23C14/14; C23C14/06; C23C14/18 【发明人】黄峰; 周小军; 李艳玲; 张晓娟 【主权项内容】一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层,其特征在于,由VC层和Ni层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0~3.0:1,纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层的总厚度为1~5μm。 【当前权利人】中国科学院宁波材料技术与工程研究所 【当前专利权人地址】浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 【统一社会信用代码】121000007178168758 【引证次数】7.0 【被引证次数】4 【他引次数】7.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】4

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