【摘要】 本发明公开一种化学气相沉积设备的控制系统，用于控制化学气相沉积设备进行沉积工艺，所述控制系统包括可编程控制器处理模块及若干个可编程控制器控制模块，所述若干个可编程控制器控制模块和所述可编程控制器处理模块通过多段网络连接线串联连接形成环形网络，使得每个所述可编程控制器控制模块通过双向的网络线路与所述可编程控制器处理模块进行通讯联系。根据本发明的控制系统，即使任意一个可编程控制器控制模块一端的网络连接线发生故障使得该可编程控制器控制模块与可编程控制器处理模块失去通讯联系，也可通过该可编程控制器控制模块另一端的网络连接线与可编程控制器处理模块进行通讯联系，提高了整个化学气相沉积设备的控制系统的可靠性。 【专利类型】发明申请 【申请人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314300 浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】海盐县 【申请号】CN201210591240.4 【申请日】2012-12-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103911602A 【公开公告日】2014-07-09 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/52 【发明人】张义明; 陈力兵; 祝龙飞; 房伟 【主权项内容】一种化学气相沉积设备的控制系统，用于控制化学气相沉积设备进行沉积工艺，所述控制系统包括可编程控制器处理模块及若干个可编程控制器控制模块，其特征在于，所述若干个可编程控制器控制模块和所述可编程控制器处理模块通过多段网络连接线串联连接形成环形网络，使得每个所述可编程控制器控制模块通过双向的网络线路与所述可编程控制器处理模块进行通讯联系。 【当前权利人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【当前专利权人地址】浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】91330400MA29GQ2771

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