【摘要】 本发明提供了一种制备三氯氢硅的工艺，其包括以下步骤：将用于反应的液态四氯化硅进行汽化；将汽化后的氢气和四氯化硅按1 : 1-10 : 1的摩尔比通入到盘管氢化炉的反应盘管中，并在所述盘管氢化炉内的火焰加热下进行反应以生成三氯氢硅。将反应完成后的混合气体进行分离，并循环利用。本发明提供的制备三氯氢硅的工艺中使用盘管氢化炉作为主要反应装置，较大程度的提高了转化率，再通过对反应后的混合气体进行分离并循环利用，最大程度的提高了氢气和四氯化硅的利用率，减少了不必要的资源浪费，显著的降低了生产成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314117 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】嘉善县 【申请号】CN201210383084.2 【申请日】2012-10-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103723734A 【公开公告日】2014-04-16 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103723734B 【授权公告日】2015-09-09 【授权公告年份】2015.0 【IPC分类号】C01B33/107 【发明人】杨楠; 王劭南 【主权项内容】一种制备三氯氢硅的工艺，其特征在于，包括以下步骤：11)将用于反应的液态四氯化硅进行汽化；12)将汽化后的氢气和四氯化硅按1 : 1-10 : 1的摩尔比通入到盘管氢化炉(1)的反应盘管(2)中，并在所述盘管氢化炉(1)内的火焰加热下进行反应以生成三氯氢硅；13)将反应完成后的混合气体进行分离，并循环利用。 【当前权利人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91330421753019961P 【引证次数】7.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】10.0

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