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一种用于制作超薄硅单晶片的金属浆丝网印刷装置专利

时间:2026-10-04    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明是有关于一种用于制作超薄硅单晶片的金属浆丝网印刷装置, 其包括在硅基体上印上一层厚度为20μm厚的青铜浆层的丝网印刷模块及在青铜层上印上一层厚度为40μm厚的锌浆层的丝网印刷模块。本发明是基于对SLiM-Cut技术制备超薄硅片的方法改进的低成本的方法,以青铜和锌取代SLiM-Cut技术中的银和铝而提出的丝网印刷装置,其通过在硅基体上丝网印刷青铜层和锌层,由于所印刷的金属均为传统的材料,因此可以与现有的铜及锌的加工工艺实现无缝衔接,大大降低生产成本,并且便于进行大规模化生产。同时通过本装置还可以控制印刷至硅基体上的青铜浆的厚度,以便于精确控制所制的超薄硅单晶片的厚度在30-50μm。 【专利类型】发明申请 【申请人】洛阳鼎晶电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】471003 河南省洛阳市高新区丰华路1号交大科技产业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】洛阳市 【申请人区县】宜阳县 【申请号】CN201210329974.5 【申请日】2012-09-07 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103660533A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103660533B 【授权公告日】2015-12-02 【授权公告年份】2015.0 【IPC分类号】B41F15/08; H01L31/18 【发明人】李国岭; 徐力; 郭金娥; 徐信富; 周锋子 【主权项内容】一种用于制作超薄硅单晶片的金属浆丝网印刷装置,其特征在于其包括:在硅基体上印上一层厚度为20μm厚的青铜浆层的丝网印刷模块及在青铜层上印上一层厚度为40μm厚的锌浆层的丝网印刷模块。 【当前权利人】洛阳鼎晶电子科技有限公司 【当前专利权人地址】河南省洛阳市高新区丰华路1号交大科技产业园 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91410307799179100G 【引证次数】4.0 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】4.0

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