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一种高导热低膨胀铜钨复合薄膜及制备方法专利

时间:2026-10-03    作者:admin 点击: ( 3 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种高导热低膨胀铜钨复合薄膜及制备方法,其由铜靶和钨靶利用双离子束溅射轰击沉积在基片上形成,所用双离子束溅射铜靶的铜含量大于99.9%和钨靶的钨含量大于99.9%;利用双离子束溅射高导热低膨胀铜钨复合薄膜里的铜和钨的含量由溅射离子的能量和束流控制;在溅射沉积前需要利用低能离子束清洗基片,溅射出的高导热低膨胀铜钨复合膜的结构程非晶态即假合金,主要用于热沉材料。 【专利类型】发明申请 【申请人】吉安市艾生建材科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】343009 江西省吉安市井冈山大学建工学院 【申请人地区】中国 【申请人城市】吉安市 【申请人区县】井冈山市 【申请号】CN201210280483.6 【申请日】2012-08-08 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103572226A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C14/34; C23C14/14 【发明人】艾永平; 刘利军; 吴利成 【主权项内容】一种高导热低膨胀铜钨复合薄膜及制备方法,其特征在于,其由铜靶和钨靶利用双离子束溅射轰击沉积在基片上形成的假合金。 【当前权利人】吉安市艾生建材科技有限公司 【当前专利权人地址】江西省吉安市井冈山大学建工学院 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91360800561065066G 【引证次数】1.0 【被引证次数】4 【他引次数】1.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】4

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