【摘要】 本发明是一种小绒面、高电阻率太阳能电池的生产方法，该生产方法包括如下步骤：A、片源检测：分选电阻率高于6Ω·cm的硅片；B、制绒：在低浓度的氢氧化钠溶液中制绒；C、扩散：把上述制绒后硅片送入820度高温炉中通磷源扩散磷原子形成高方阻的PN结；D、刻蚀：使用等离子体气体，刻蚀硅片的周边；E、去二氧化硅：将上述硅片放入浓度为10%的氢氟酸溶液浸泡4分钟；F、氮化硅层：在上述硅片扩散面镀氮化硅层；G、丝网印刷：在上述硅片表面印刷具有导电功能的银浆和铝浆；H、烧结：对上述硅片进行烧结。本发明工艺简单方便、变废为宝，将高电阻率的硅片也用来制作太阳能电池，提高利用率，提高生产效率，降低产品的不合格率。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏天宇光伏科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】212362 江苏省镇江市丹阳市珥陵镇江南工业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】镇江市 【申请人区县】丹阳市 【申请号】CN201210370310.3 【申请日】2012-09-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103715295A 【公开公告日】2014-04-09 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L31/18; C30B33/10 【发明人】王豪兵; 粱坚; 顾冬生; 戴王帅 【主权项内容】1.一种小绒面、高电阻率太阳能电池的生产方法，其特征在于：所述生产方法包括如下步骤： A、片源检测：分选电阻率高于6Ω·cm的硅片； B、制绒：在低浓度的氢氧化钠溶液中制绒，制绒反应温度为75-80度，时间为14-16分钟，NaOH浓度质量体积比为1.0-1.5%；形成金字塔小绒面，小绒面大小为1-2μm； C、扩散：把上述制绒后硅片送入820度高温炉中通磷源扩散磷原子，通源量为1200-1400Sccm，时间为10分钟，形成高方阻的PN结； D、刻蚀：使用等离子体气体，刻蚀硅片的周边，去除硅片四周的导电层； E、去二氧化硅：将上述硅片放入浓度为10%的氢氟酸溶液浸泡4分钟； F、氮化硅层：在上述硅片的扩散面镀氮化硅层； G、丝网印刷：在上述硅片表面印刷具有导电功能的银浆和铝浆； H、烧结：对上述硅片进行烧结，形成良好的欧姆接触。 【当前权利人】江苏天宇光伏科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省镇江市丹阳市珥陵镇江南工业园 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】9132118155026692XW 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0

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