【摘要】 本发明涉及一种小型温度补偿石英加速度计伺服电路，用于配套石英挠性加速度计，其包括伺服电路，其还包括检测石英挠性加速度计的工作环境温度的温度传感器。由于本发明的伺服电路设置有温度传感器，其可以检测石英加速度计的实际环境温度并输出与环境温度成正比的电流信号，以供后级信号处理单元补偿校正使用，从而降低环境温度对加速度计的影响，提高加速度计的测试精度。。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 【申请人类型】企业 【申请人地址】215163 江苏省苏州市高新区龙山路89号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】虎丘区 【申请号】CN201210329144.2 【申请日】2012-09-07 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102830248B 【公开公告日】2014-09-17 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102830248B 【授权公告日】2014-09-17 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01P15/00 【发明人】卢剑寒; 李波; 聂月萍; 张剑; 周峻霖; 刘鹏 【主权项内容】一种小型温度补偿石英加速度计伺服电路，用于配套石英挠性加速度计，其包括伺服电路，其特征在于：其还包括检测所述的石英挠性加速度计的工作环境温度的温度传感器；所述的伺服电路和所述的温度传感器均通过厚膜工艺生产制造，所述的温度传感器为半导体芯片，其通过厚膜工艺装配于所述的伺服电路中；所述的伺服电路包括电源部分、与所述的石英挠性加速度计相连接的差动电容检测部分、与所述的差动电容检测部分相连接的前置放大部分、与所述的前置放大部分相连接的跨导放大部分、连接于所述的跨导放大部分与所述的前置放大部分之间构成负反馈闭环系统的校正网络部分，所述的温度传感器的输入端与所述的电源部分相连接，所述的温度传感器的输出端连接至所述的小型温度补偿石英加速度计伺服电路的一只非主要功能的外引脚并通过其输出由温度信号转变的电流信号。。 【当前权利人】华东光电集成器件研究所 【当前专利权人地址】安徽省蚌埠市经开区汤和路2016号 【统一社会信用代码】12320500466957808L 【引证次数】1.0 【被引证次数】1 【他引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】10

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