【摘要】 本发明公开了一种薄膜光电子器件短路缺陷钝化方法及其装置，一种薄膜光电子器件短路缺陷钝化方法，薄膜光电子器件包括金属基板电极、设置在金属基板电极上的单层或复数层的半导体和透明导电氧化物，该薄膜光电子器件可能具有短路区域，它包括以下步骤：配置电解液，并将电解液加入容器中；设定直流脉冲电源的波形、频率、电压值和脉冲数；将待钝化的薄膜光电子器件的金属基板电极与第一电极相电接触，将第一电极与直流脉冲电源的一端相连，将直流脉冲电源的另一端与第二电极相连，将网状半透明的第二电极浸入电解液中；通过移动装置将待钝化的薄膜光电子器件和第一电极浸入电解液中并保证其与第二电极保持平行，接通直流脉冲电源和激发光源。 【专利类型】发明授权 【申请人】迅力光能(昆山)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市高新技术产业园区元丰路199号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210052348.6 【申请日】2012-03-02 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102610545B 【公开公告日】2014-10-08 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102610545B 【授权公告日】2014-10-08 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L21/67 【发明人】胡志华 【主权项内容】1.一种薄膜光电子器件短路缺陷钝化方法，所述薄膜光电子器件包括金属基板电极、设置在金属基板电极上的单层或复数层的半导体和透明导电氧化物，该薄膜光电子器件可能具有短路区域，其特征在于：它包括以下步骤：A)配置电解液，并将电解液加入容器中；B)设定直流脉冲电源的波形、频率、电压值和脉冲数；C)将待钝化的薄膜光电子器件的金属基板电极与第一电极相电接触，将第一电极与直流脉冲电源的一端相连，将直流脉冲电源的另一端与第二电极相连，将网状半透明的第二电极浸入电解液中；D)通过移动装置将待钝化的薄膜光电子器件和第一电极浸入电解液中并保证其与第二电极保持平行，接通直流脉冲电源；E) 对薄膜光电子器件通过自然光或模拟光源进行照射，激活薄膜光电子器件以使电化学反应更具选择性。 ： 【当前权利人】迅力光能(昆山)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市高新技术产业园区元丰路199号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】91320583677023060A 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】4

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