【摘要】 本发明公开了一种闸流管充气系统，包括置于密封腔内的闸流管，所述闸流管通过管道连通一储氢罐，且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀和充氢微调阀；所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器，在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀、第一隔离阀和第一储氢阀；在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀和清空阀；所述储氢罐上设有第一薄膜真空计；所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计。该闸流管充气系统，可实现向闸流管内充高纯度、压力可控的氢气或氘气等。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山国力真空电器有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215301 江苏省苏州市昆山市开发区长江中路179号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210332971.7 【申请日】2012-09-11 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103681167A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103681167B 【授权公告日】2015-10-28 【授权公告年份】2015.0 【IPC分类号】H01J9/395 【发明人】黄俊杰 【主权项内容】一种闸流管充气系统，包括置于密封腔(1)内的闸流管(2)，其特征在于：所述闸流管通过管道连通一储氢罐(5)，且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀(3)和充氢微调阀(4)；所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器(9)，在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀(6)、第一隔离阀(7)和第一储氢阀(8)；在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀(10)和清空阀(11)；所述储氢罐上设有第一薄膜真空计(12)；所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计(13)。 【当前权利人】昆山国力电子科技股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山开发区西湖路28号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583724173046J 【引证次数】7.0 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】8.0

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