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一种采用方光斑刻蚀双面ITO玻璃的刻蚀装置专利

时间:2026-09-30    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种采用方光斑刻蚀双面ITO玻璃的刻蚀装置,可以将激光束能量分布的模式由高斯模式转换为等功率分布,整形后的光束所照可以将照射部位薄膜均匀去除,即去除薄膜厚度一致。本发明公开的刻蚀装置包括支撑机构和等功率分布整形光路机构,所述支撑机构包括上支撑装置和下支撑装置,所述上下支撑装置各包含一套等功率分布整形光路机构,用于提供等功率激光束。高斯模式激光束在使用过程中,由于能量分布中间大四周小,蚀刻过程中往往在双面ITO玻璃加工边缘出现残留,造成产品加工问题,而等功率激光束则可以很好的解决这个问题。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山思拓机器有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215347 江苏省苏州市昆山市苇城南路1666号清华科技园创新大厦一楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210351729.4 【申请日】2012-09-21 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103658977A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】B23K26/062; B23K26/064; B23K26/362; B23K26/08 【发明人】魏志凌; 宁军; 高永强 【主权项内容】一种采用方光斑刻蚀双面ITO玻璃的刻蚀装置,包括:等功率分布整形光路机构,所述等功率分布整形光路机构包括光束整形部件, 所述光束整形部件用于将高斯模式激光束转变为等功率分布激光束;和支撑机构,所述支撑机构包括上支撑机构和下支撑机构,所述上下支撑机构各包含有所述等功率分布整形光路机构;和激光器。 【当前权利人】昆山思拓机器有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市苇城南路1666号清华科技园创新大厦一楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583550252210T 【引证次数】6.0 【被引证次数】4 【自引次数】1.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】4

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