【摘要】 本发明公开了一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于 : 所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径；所述传输载盘的四个角为圆角。本发明提供的连续式水平溅镀机传输机构，在传输侧面增加侧面导向支撑结构，很好的保护了侧面导向轴承，把各侧面导向轴承连接起来使两侧一直保证在水平线上，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率，并节约了大量的劳动力与生产成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】赫得纳米科技(昆山)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山高科技工业园都市路21号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210377232.X 【申请日】2012-10-08 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102839357B 【公开公告日】2014-08-06 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102839357B 【授权公告日】2014-08-06 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23C14/56; C23C14/34 【发明人】黄国兴; 费文池; 王光华; 姜建峰 【主权项内容】连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于：所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径，所述侧面导向支撑为长条形结构。 【当前权利人】赫得纳米科技(昆山)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山高科技工业园都市路21号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】913205837833974966 【引证次数】4.0 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】4.0

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