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一种复合掩模板专利

时间:2026-09-29    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种复合掩模板,所述复合掩模板,包括掩模层和支撑层,其中,所述掩模层包括有开口,所述开口构成掩模板图案区;所述支撑层包括有与所述掩模层开口相对应的支撑条,所述支撑层与所述掩模层紧密结合,起到对所述掩模层支撑作用,且所述支撑层不会对所述开口形成遮挡。现有技术在制作大尺寸掩模板,其金属型的掩模主体会具有较大的质量,从而会导致掩模主体板面产生下垂,而根据本发明提供的复合掩模板,可以对下垂的掩模主体提供一定的支撑力,降低或弥补掩模主体板面产生下垂的情况,改善产品的精度、质量,并提高良品率。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山允升吉光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210329158.4 【申请日】2012-09-07 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103682171A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L51/56; C23C14/04 【发明人】魏志凌; 高小平; 张炜平 【主权项内容】一种复合掩模板,包括掩模层和支撑层,其特征在于,所述掩模层包括有开口,所述开口构成掩模板图案区;所述支撑层包括有与所述掩模层开口相对应的支撑条,所述支撑层与所述掩模层紧密结合,起到对所述掩模层支撑作用,且所述支撑层不会对所述开口形成遮挡。。: 【当前权利人】昆山允升吉光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583688327262Q 【引证次数】7.0 【被引证次数】18 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【被自引次数】5.0 【被他引次数】13.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】18

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