【摘要】本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上，固态介电层设置于固定电极上，可动电
【摘要】 一种电子生产装置，它包含生产装置和自动总控电路，所述的生产装置它包含机身下盖、机身上盖、机械手、一级加工槽、二级加工槽、三级加工槽，机身下盖的上端设置有一级加工槽、二级加工槽、三级加工槽，三个加工槽的的上方设置有机械手，机械手上端设置有机身下盖。所述的自动总控电路由PLC模块、电气控制开关、触摸屏、机械手控制模块、一级加工模块、二级加工模块、三级加工模块、报警模块、紧急停止模块组成，PLC模块的信号端与触摸屏连接，电气控制开关与PLC模块连接，PLC模块分别通过电源总线与机械手控制模块、一级加工模块、二级加工模块、三级加工模块、报警模块、紧急停止模块连接。它具有智能化，安全可靠，提高生产效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山平成电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市张浦镇横贯泾路46号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210511085.0 【申请日】2012-12-04 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103853119A 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】G05B19/418 【发明人】杨东明 【主权项内容】一种电子生产装置，其特征在于它包含上生产装置(1)和自动总控电路(2)，生产装置(1)与自动中空电路(2)之间通过总线进行连接。 【当前权利人】昆山平成电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市张浦镇横贯泾路46号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583772450677B 【引证次数】5.0 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】5.0
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