【摘要】 一种集成式湿度传感器，包括半导体衬底；位于所述半导体衬底上的集成电路；位于所述集成电路上的传感部件，所述传感部件通过金属互连线与所述集成电路连接；所述传感部件依次包括位于金属互连线上的电极、电极上的保护层、保护层上的测量层，所述测量层由介电常数湿度敏感材料构成。本发明还提供了一种集成式湿度传感器的制造方法，包括：在半导体衬底上形成集成电路；在集成电路上形成金属互连线；在金属互连线上形成传感部件，依次包括位于金属互连线上的电极、电极上的保护层、保护层上的测量层，所述测量层由介电常数湿度敏感材料构成。本发明所述的集成式湿度传感器，精度高，寄生参数小，成本低廉，体积小，有利于实现数字采集系统。 【专利类型】发明授权 【申请人】张家港丽恒光微电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215613 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】张家港市 【申请号】CN201210171695.0 【申请日】2012-05-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102692432B 【公开公告日】2014-04-30 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102692432B 【授权公告日】2014-04-30 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01N27/22; H01L27/02 【发明人】王志玮; 唐德明 【主权项内容】一种集成式湿度传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底上的集成电路；位于所述集成电路上的传感部件，所述传感部件通过金属互连线与所述集成电路连接；所述传感部件包括位于金属互连线上的电极、电极上的保护层、保护层上的测量层，所述测量层由介电常数湿度敏感材料构成；在所述集成电路和所述传感部件之间还有隔离层，所述金属互连线通过隔离层上的连接孔与所述传感部件连接，所述的隔离层材质为氮化硅或氧化硅。 【当前权利人】张家港丽恒光微电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村张家港丽恒光微电子科技有限公司 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320582592525619R 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】15

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