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两种腐蚀深度的一次成形方法专利

时间:2026-09-25    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种两种腐蚀深度的一次成形方法,包括采用具有横向腐蚀特性的腐蚀材料从多于一个入口处对腐蚀对象进行腐蚀。通过使用本发明,可以实现工艺流程的简化,提高效率,降低产生成本,还可能可以缩短生产时间。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210269511.4 【申请日】2012-07-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103578965A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103578965B 【授权公告日】2016-08-03 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01L21/306 【发明人】张新伟; 夏长奉; 李祥; 苏巍 【主权项内容】两种腐蚀深度的一次成形方法,包括:采用具有横向腐蚀特性的腐蚀材料从多于一个入口处对腐蚀对象进行腐蚀。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】9.0

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