【摘要】 本发明公布了一种电热式微镜的精确开环控制系统，包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、微镜装置、屏幕和位置敏感传感器；其特征在于：所述微镜装置具有精确开环控制电路，所述精确开环控制电路包括中央处理器，输出数模转换模块，信号处理模块，采样模块和安全保护模块。一种电热式微镜的精确开环控制方法，包括系统参数的标定和开环控制步骤。本发明无需在微镜工艺和封装上做任何加工改动，成本低，容易实现。光路元件较少，实现简单，实用性强，一次标定参数后，可针对同一版微镜使用。外围控制电路简单，容易重复实现。开环系统内包含闭环控制，大大优化系统的精确度，可精确控制微镜的偏转角度。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡微奥科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区长江路16号软件园8905室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201210031810.4 【申请日】2012-02-14 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102591008B 【公开公告日】2014-05-14 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102591008B 【授权公告日】2014-05-14 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G02B26/08 【发明人】兰树明; 谢会开; 陈巧; 管帅; 傅霖来; 周亮 【主权项内容】1.一种电热式微镜的开环控制系统，包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、微镜装置、屏幕和位置敏感传感器；激光光束通过第一分光镜达到微镜镜面上，微镜镜面反射的光束通过第一分光镜达到第二分光镜上，第二分光镜将光束分成两束，一束打在位置敏感传感器上，一束打在屏幕上；其特征在于：所述微镜装置具有精确开环控制电路，所述精确开环控制电路包括中央处理器，输出数模转换模块，信号处理模块，采样模块和安全保护模块，其中 所述采样模块包括采样电阻和模数转化模块，将采样电阻实时采集的微镜装置各个驱动臂的驱动电压转化成数字信号传送给所述中央处理器； 所述中央处理器存储有输出电压变化量Δ V 与相对应的标准微镜偏转角度变化量Δ θ ，输出微镜驱动信号，并根据接收到的所述采样模块传送的实际驱动臂的驱动电压变化信号和微镜镜面偏转角度变化值与存储的值相比较、计算出偏差值对输出信号进行补偿； 所述输出数模转换模块是将中央处理器的输出的数字信息转换成模拟电压信号； 所述信号处理模块用于将所述输出数模转换模块输出的模拟电压信号转换成微镜驱动电压； 所述安全保护模块是防止上电与掉电瞬间浪涌信号对微镜的冲击。 【当前权利人】无锡微文半导体科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号B2-305 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320214560327474W 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】8

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