【摘要】 本发明涉及一种酸性铜蚀刻液，其特征在于，所述铜蚀刻液质量百分比组成为：硫酸1%~20%、过硫酸盐5%~25%、表面活性剂0.05~0.5wt%和余量的纯水；所述表面活性剂为非离子型表面活性剂。所述工艺包括如下步骤：第一步：将硫酸、过硫酸盐、表面活性剂和纯水四种原料按权利要求1所述配比称重配置；第二步：将硫酸加入配料罐中，搅拌下加入过硫酸盐，将其搅拌均匀；第三步：往混匀的硫酸和过硫酸盐混合溶液中加入非离子表面活性剂，然后加入纯水，充分搅拌；第四步：将混合物通入过滤器进行过滤，得到所述铜蚀刻液。本发明蚀刻液蚀刻速度快，蚀刻均匀，不影响其他金属层，且药液对环境污染小。 【专利类型】发明授权 【申请人】江阴润玛电子材料股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇长青路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201210379057.8 【申请日】2012-10-09 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102925894B 【公开公告日】2014-10-29 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102925894B 【授权公告日】2014-10-29 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23F1/18 【发明人】戈士勇 【主权项内容】1.一种酸性铜蚀刻液，其特征在于，所述铜蚀刻液质量百分比组成为：硫酸1%~20%、过硫酸盐5%~25%、表面活性剂0.05~0.5wt %和余量的纯水；所述表面活性剂为非离子型表面活性剂；所述非离子型表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺和聚异丁烯/马来酸酐衍生物的混合物，或者为聚异丁烯/马来酸酐衍生物和N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺的混合物。 【当前权利人】江阴润玛电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市周庄镇长青路2号 【专利权人类型】股份有限公司(非上市、自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320200743703313P 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】14

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